【*** 使用手冊】激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用激光的高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點和邁克耳遜干涉系統(tǒng)來測量位移的通用長度測量儀器，主要分為單頻的和雙頻兩種?！　∈褂迷囼灧椒ǎ耗壳坝糜跍y量長度的干涉儀，主要以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可以配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作?！　∽⒁馐马棧骸　?、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。　　2、在移動儀器時，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進行移動。　　3、儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉?！　?、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當小心擦拭，利用科學(xué)方法進行清潔，嚴禁丙酮擦拭?！　?、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應(yīng)當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。　　6、在使用時應(yīng)避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{(diào)整部件?！　?、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油?！　?、不用設(shè)備時需將激光器出光口前蓋，旋轉(zhuǎn)90度，防止外部粉塵進入激光頭內(nèi)部。　　9、對儀器要小心輕放，避免強烈的沖擊震動?！　?0、儀器不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。 有關(guān)激光干涉儀的操作及應(yīng)用如何？

高精度激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

該儀器的基本操作：

1、開機：接通電源打開電源開關(guān)，1分鐘后開始檢測；

2、光路調(diào)整：旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像；

3、透鏡面形檢測：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高；

4、透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關(guān)（清零），調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度（凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度）到第2個星點出現(xiàn)的時候調(diào)節(jié)標準鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕，使圖像出現(xiàn)貓眼像，標尺移動的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑。

應(yīng)用

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可**限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到***佳精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。

（3）數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的****已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關(guān)標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。

（4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。

（5）數(shù)控機床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。

激光干涉儀為機床檢定提供了一種高精度儀器，它精度高，達到±1.1PPM（在0～40℃下），測量范圍大（線性測長40m，任選80m），測量速度快（60m/min），分辨率高（0.001μm），便攜性好。由于激光干涉儀具有自動線性誤差補償功能，可方便恢復(fù)機床精度，更受到用戶歡迎！